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                洁净烤箱

                洁净烤箱

                适用于半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃等材料涂胶◆前的预处理烘烤、涂胶后坚『膜烘烤和显影后的高温烘烤;也适用于⊙电子液晶显示、LCD、CMOS、IS、医药、实验室等生产及科研部门;无尘工业烤箱还可用于非挥发性及非易燃易爆物品的干燥、热处理、老化等其他〓高温试验。
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                产品详情

                产品内容介绍

                产品特点

                PRODUCT FEATURES


                为满足半导体封装◥测试行业对无尘烘烤的◢需求,深圳怡和兴根据行业的使用习惯、材料特性、工艺流↑程等特点研发出半导体洁净烤箱。洁净烤箱主要通过空≡气过滤器来净化环境,避免空气中的细小颗粒物进去箱内。箱内空气封闭自循环,经100级耐高温高效空气过滤器反复过滤,使工作室内处于无尘状态。洁净烤箱主要适用于半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃等材料涂胶前的预处理烘烤、涂胶后坚膜烘烤和显影后的▲高温烘烤;也适用于电子液晶显示、LCD、CMOS、IS、医药、实验室等生产及科研部门。


                1、结构组成:由箱体部分、电▲器控制柜、电加热及风道循环系统组装而成,结构合理。 

                2、密封性设计:全周氩焊,采用∮耐高温硅橡胶无尘密封条隔热,确保密封性和洁净度 

                3、外部防尘处理:外材质为SPCC钢∮板经过粉体喷塑,耐磨不掉尘渣; 

                4、高效过滤器:HEPA过滤网构造洁净室,99.99%有效过滤,洁净度达到等级100级;

                5、节能:保温材质为高密度纤维,保温节能;

                6、分层结构设计:内箱层』板高低可调,可自由取出;

                7、温控仪表:自动控制温度,恒温及时间控制,设有超温自动停电及报警电路,控制可靠,使用安全。

                8、电器配件:全部采用一线品▽牌,PID演算的温控系统和超温保护装置,智能恒温,温差小,适用不同产品的长、短烘烤。


                选配组件

                1、程序控温:可配置程序型温度控制∑器,实现多组程序控温。
                2、测温功能:多点测温查看及记录功能。
                3、风门调节:可加装风量调节装置,亦可实现风门开关程序控制。
                4、温度记录仪:可配置多通道温度记录仪,打印机或RS485接口,监控记录温度变化状况。

                 

                产品参数

                PRODUCT PARAMETERS


                型号

                YH-J100-ES-02

                温度范围

                常温—300℃

                温度精度

                ±1℃

                温度均匀性

                ±2%(空载)

                加热功率

                6KW

                容积

                350L

                工作尺寸(高*宽*深)

                910*620*620(mm)

                外部尺寸(高*宽*深)

                1750*855*1030(mm)

                过滤器

                HEPA耐高温高效过滤器(CLASS 100)

                含氧量范◥围

                1%-100PPM(选配)

                升温速率

                升温速率可调,空载常温升至175℃大约30分钟



                微信图片_20220517142105

                 

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